Резонансный метод используется в датчиках давления па основе вибрирующего цилиндра, струнных датчиках, кварцевых датчиках, резонансных датчиках на кремнии. В основе метода лежат волновые процессы: акустические или электромагнитные. Это и объясняет высокую стабильность датчиков и высокие выходные характеристики прибора.
Частным примером может служить кварцевый резонатор (рис. 1.6). При прогибе мембраны происходит деформация кристалла кварца, подключенного в электрическую схему, и его поляризация. В результате изменения давления частота колебаний кристалла меняется. Подобрав параметры резонансного контура, изменяя емкость конденсатора или индуктивность катушки, можно добиться резонанса.
Преимуществом резонансных датчиков является высокая точность и стабильность характеристик, которая зависит от качества используемого материала.
Рисунок 1.6 –Резонансный датчик давления на кварцевом резонаторе.
К недостаткам можно отнести индивидуальную характеристику преобразования давления, значительное время отклика, не возможность проводить измерения в агрессивных средах без потери точности показаний прибора.
Индуктивный метод
Индуктивный метод основан па изменении индуктивности. Частным примером может служить датчик, чей чувствительный элемент состоит из катушки индуктивности и сердечника из ферромагнитного материала (рис. 1.7).