Моделирование технологических процессов наноэлектроники - курсовая работа готовая
Приём заказов:
Круглосуточно
Москва
ул. Никольская, д. 10.
Ежедневно 8:00–20:00
Звонок бесплатный

Моделирование технологических процессов наноэлектроники

Диплом777
Email: info@diplom777.ru
Phone: +7 (800) 707-84-52
Url:
Логотип сайта компании Диплом777
Никольская 10
Москва, RU 109012
Содержание

Слой двуокиси кремния формируется обычно на кремниевой пластине за счет химического взаимодействия в приповерхностной области полупроводника атомов кремния и кислорода. Кислород содержится в окислительной среде, с которой контактирует поверхность кремниевой подложки, нагретой в печи до температуры T = 900 — 1200 ºС. Окислительной средой может быть сухой или влажный кислород.
Перед помещением подложек в печь необходимо провести их очистку для удаления как органических, так и неорганических загрязнений, появляющихся на предыдущих этапах технологического процесса.
Пылеобразные частицы удаляют либо механической кистевой, либо ультразвуковой отмывкой. Процедура химической очистки обычно заключается в удалении органических загрязнений; её проводят после удаления неорганических ионов и атомов.
Обычная процедура химической очистки выполняется в смеси H2O-HO2-NH4OH, которая обеспечивает удаление органических соединений за счет сольватирующего действия гидроокиси аммония (NH4OH) и окисляющего действия перекиси водорода Н2О2 Для удаления атомов тяжелых металлов используют раствор H2O-H2O2-HCI. Очистка в таком растворе проводится при температуре 75…85 0С в течение 10…20мин., после чего следует охлаждение подложек, их отмывка и сушка в центрифуге.
Схематично вид установки показан на рис. 1 (в современных установках пластины в подложкодержателе располагаются вертикально).

Кирилл Кузнецов
Кирилл Кузнецов
Окончил факультет вычислительных систем ТУСУР. По специальности работаю три года. В свободное время занимаюсь репетиторством, беру на дополнительные занятия школьников, а также сотрудничаю с компанией «Диплом777». Беру работы по радиоэлектронике и связям цифровых приборов.
Поделиться курсовой работой:
Поделиться в telegram
Поделиться в whatsapp
Поделиться в skype
Поделиться в vk
Поделиться в odnoklassniki
Поделиться в facebook
Поделиться в twitter
Похожие статьи
Раздаточный материал для дипломной работы образец

Когда студент выходит на защиту перед экзаменационной комиссией, ему требуется подготовить все необходимые материалы, которые могут повысить шансы на получение высокого балла. Один из таких

Читать полностью ➜
Задание на дипломную работу образец заполнения

Дипломная — это своеобразная заключительная работа, которая демонстрирует все приобретенные студентом знания во время обучения в определенном вузе. В зависимости от специализации к исследовательским работам

Читать полностью ➜